전자반도체 분과위원회 2010년도 워크샵 개최 안내 - 주제 : 첨단 전자산업에서의 입자에어로졸기술 워크샵 - 일시 : 2010년 2월 25일(목)~26일(금) 13:00-18:00 - 장소 : 연세대학교 제2공학관 B201호 - 신청서(뒷장) 제출 및 입금 마감일 :　2010년 2월 21일 일요일 - 프로그램 (사회: 한국생산기술연구원 유경훈 수석연구원) ․ 첫째날 - 2월 25일 12:30-13:00 등록 12:30-13:00 반도체 제조공정 DVD Silicon Run I (2nd Edition) 상영 [국제반도체장비재료협회(SEMI, Semiconductor Equipment and Materials International) 제작, 2004] 13:00-13:10 인사말 [한국입자에어로졸학회 회장 최만수] 13:10-14:00 Aerosol engineering of nanoparticles [서울대학교 최만수 교수] 14:00-14:50 극자외선노광(EUVL) 포토마스크 입자오염제어 [한양대학교 육세진 교수] 14:50-15:40 Particle Beam Mass Spectrometer (PBMS)를 이용한 실시간 나노입자측정 [성균관대학교 김태성 교수] 15:40-16:10 Coffee Break 16:10-17:00 반도체 및 디스플레이 제조환경에서의 오염입자 모니터링 [(주)에이치시티 윤진욱 책임연구원] 17:00-17:50 반도체 디바이스 제조공정에서의 입자오염제어기술 [삼성전자(주) 반도체총괄 이건형 수석] 17:50-18:00 종합 토론 및 건의 [진행 : 사회자] ․ 둘째날 - 2월 26일 12:30-13:00 등록 12:30-13:00 반도체 제조공정 DVD Silicon Run Deposition 상영 [국제반도체장비재료협회(SEMI, Semiconductor Equipment and Materials International) 제작, 2004] 13:00-13:50 전기수력학 방식을 이용한 에어로졸 입자 발생 및 응용 [연세대학교 황정호 교수] 13:50-14:40 레이저프린터에서 발생하는 입자 측정 및 평가 [한양대학교 안강호 교수] 14:40-15:30 나노물질, 나노제품의 안전성과 상용화 [삼성전자(주) 지준호 책임연구원] 15:30-16:00 Coffee Break 16:00-16:50 Bio 응용 공기청정기술 [LG전자(주) 이성화 책임연구원] 16:50-17:40 나노입자를 이용한 유연 전기소자공정구현 [한국과학기술원 고승환 교수] 17:40-18:00 종합 토론 및 건의 [진행 : 사회자] - 참가비 : 일반회원 5만원, 학생회원 3만원 (온라인결제 -> http://www.kapar.or.kr) (계좌이체 -> 농협, 1282-01-009860, 예금주:한국입자에어로졸학회) - 문의 : 한국입자에어로졸학회 사무국(02-885-8835) - 계산서 요청시 사업자등록증을 신청서와 함께 e-mail (aerosol@plaza.snu.ac.kr)로 제출바랍니다.